×ðÁú¿­Ê±

ͼƬÃû³Æ

ĤÁÏϵÁÐÑÐÌÖ£¨2£©µç×ÓÊøÕô·¢Ta2O5ΪʲôÈÝÒ×´ò´©Ä¤ÁÏ?


Ðû²¼Ê±¼ä£º

2022-08-08 17:45

×ðÁú¿­Ê±ÊÚȨÊ×·¢£¬ÖªÊ¶²úȨIP¹éÊô±«²©Ê¿¡£×ª·¢ÐèÁªÏµ×ðÁú¿­Ê±¡£

ĤÁÏϵÁÐÑÐÌÖΪϵÁй«Òæ¿ÆÆÕ½²×ù£¬½²×ùÈËΪº£ÄÚ×ÊÉî¶ÆĤ¼¼Êõר¼Ò¡¢Ä¤ÁÏר¼Ò¡¢¶ÆĤ»úÉè¼Æר¼Ò£¬Ö¼ÔÚÍƽøº£ÄÚÕæ¿Õ¶ÆĤ¼¼ÊõÉú³¤¡£
£¨Ò»£©Ta2O5±¡Ä¤µÄ½­ºþְλ
 Ta2O5£¬ÀíÏ뻯ѧ¼ÆÁ¿±ÈÌõ¼þÏÂΪ°×É«ÎÞÉ«½á¾§·ÛÄ©£¬ÊÇîã×î³£¼ûµÄÑõ»¯ÎҲÊÇîãÔÚ¿ÕÆøÖÐȼÉÕÉú³ÉµÄ×îÖÕ²úÆ·¡£ÈÜÓÚÈÛÈÚÁòËáÇâ¼ØºÍÇâ·úËá,²»ÈÜÓÚË®ºÍÆäËûËá¡£Óм¸¸öÃ÷ÏÔµÄÓÅÊÆ¡£
£¨1£©²»´íµÄ¹âѧ³£Êý£ºÕÛÉäÂʵÍÓÚTiO2ºÍNb2O5±¡Ä¤£¬µ«¶Ì²¨Í¸¹ýÂʸü¸ß£¬ÊǿɼûºÍ½üºìÍⲨ¶Î³£ÓõĸßÕÛÉäÂÊÖÊÁÏÖ®Ò»¡£ÏÂͼΪ×÷Õß½ÓÄɵç×ÓÊøÕô·¢×öµÄTa2O5/SiO2¶Ì²¨Í¨£¬½ØÖ¹ÇøÒ»Ö±ÑÓÉìµ½1750nm£»Ôڶ̲¨´¦T>80@327nm£¬Õ¹ÏÖÁËÁ¼ºÃµÄ¹âÆ×ÌØÐÔ
ͼ1  Ta2O5/SiO2ÖƱ¸µÄ¶Ì²¨Í¨¹âÆ×
£¨2£©Á¼ºÃµÄ΢¹Û½á¹¹£ºTa2O5±¡Ä¤µÄÖƱ¸ÒªÁìÖÖÀà·±¶à£¬ÈçÈܽº-Äý½º·¨ (Sol-ge1) ¡¢»¯Ñ§ÆøÏà³Á»ý·¨¡¢µç×ÓÊøÕô·¢¼¼Êõ¡¢½¦Éä·¨ºÍÔ­×Ó²ã³Á»ý·¨ (ALD) µÈ¡£¹ØÓÚÈܽº-Äý½º·¨ (Sol-ge1) ¡¢»¯Ñ§ÆøÏà³Á»ý·¨ºÍµç×ÓÊøÕô·¢·¨£¬ÆäÖƱ¸µÄ±¡Ä¤ÕÛÉäÂʽϵÍ£¬Ò×Êܳ±£¬ÎüÊմ󣬹âѧÎȶ¨ÐÔ²îºÍÍâòɢÉä´ó£¬²»ÊʺÏÖƱ¸ÓÅÖʸ߾«¶È¹âѧ±¡Ä¤¡£³£Óõĸ߾«¶È¹âѧ±¡Ä¤Õô·¢ÒªÁìÊÇÀë×ÓÊø¸¨Öú³Á»ý·¨ºÍ½¦Éä·¨µÈ¸ßÄÜÁ£×Ó³Á»ýÒªÁì¡£Á£×Ó¸¨Öú³Á»ý»ñµÃµÄ±¡Ä¤¾ßÓкܸߵľۼ¯ÃܶÈ£¬ÕÛÉäÂʽӽüÓÚ¿é²Ä£»Èçͼ2Ëùʾ£¬³ý·Ç¸ßÎÂÁè¼Ý800¡æÍ˻𣬲»È»²»Ò׽ᾧ¡£
²»½á¾§ÒâζמßÓнϺõĹâѧÎȶ¨ÐԺ͵ÍÉ¢ÉäµÈÓŵ㣬¿ÉÓÃÓÚÖƱ¸¿É¼û¹âºÍºìÍⲨ¶ÎµÄµÍËðºÄ±¡Ä¤¡£
ͼ2  Zhang Guangyong¼´ÊÇ2008Äê¸ø³öµÄTa2O5 XRDͼ
£¨3£©ÓÅÔ½µÄ»úеÌØÐÔºÍζÈÎȶ¨ÐÔÓÐÁ¼ºÃµÄ»úеÌØÐÔºÍζÈÎȶ¨ÐÔ£¬³£ÓÃÓÚÖƱ¸Í¨ÐÅÉÏÓõÄÃܼ¯²¨·Ö¸´Óã¨DWDM£©Â˹âƬ¡£Raif FaberÔøÓÃÀë×Ó¸¨Öúµç×ÓÊøÕô·¢¼¼ÊõÀֳɵÄÖƱ¸³ö100GHzµÄÕ­´øÂËɫƬ£¬Èçͼ3Ëùʾ¡£
ͼ3 Raif FaberÓÃÀë×Ó¸¨Öúµç×ÓÊøÕô·¢ÖƱ¸µÄ100GHzÕ­´ø
±¡Ä¤×ܺñ¶ÈÔ¼38μm¡£ÔÚʵ¼ÊÖƱ¸ÖУ¬ºñ¶È¿ØÖÆϵͳ¶Ô³ý¼ä¸ô²ãÍâµÄĤ²ã¹âѧºñ¶ÈÎó²î¿ØÖÆСÓÚ0.01%¡£ÕâÑù¸ß¾«¶ÈµÄÖƱ¸Ë®Æ½£¬ÏÕЩ¿ÉÒÔÂú×ãÇ¿¼¤¹âϵͳÖÐËùÓоµ×ӵĹâÆ×ÒªÇó¡£
£¨¶þ£©Ta2O5ĤÁÏ´ò´©µÄÑݱäÀú³Ì
±¡Ä¤×ܺñ¶ÈÔ¼38μm¡£ÔÚʵ¼ÊÖƱ¸ÖУ¬ºñ¶È¿ØÖÆϵͳ¶Ô³ý¼ä¸ô²ãÍâµÄĤ²ã¹âѧºñ¶ÈÎó²î¿ØÖÆСÓÚ0.01%¡£ÕâÑù¸ß¾«¶ÈµÄÖƱ¸Ë®Æ½£¬ÏÕЩ¿ÉÒÔÂú×ãÇ¿¼¤¹âϵͳÖÐËùÓоµ×ӵĹâÆ×ÒªÇó¡£
ʵÏÖTa2O5±¡Ä¤ÖÖÖÖÓÅÔ½ÌØÐÔµÄÇ°ÌáºÍ»ù±¾°ü¹Ü£¬ÊÇĤÁϵÄÎȶ¨Õô·¢¡£µ«ÈÕ³£¶ÆĤÖУ¬Õô¶ÆÀú³Ì²¢²»»áÈçÏëÏóÖÐÄÇô˳Àû¡£
£¨1£©ÛáÛöÄÚµÄҩĤÁÏÈÝÒדÍÚ¿Ó”£¬µ±Õô·¢µÄ±¡Ä¤Áè¼ÝÒ»¶¨ºñ¶Èºó£¬Õô·¢Ò©ÃæÃ÷ÏÔ½µµÍ¡£Õâ»áµ¼Ö±¡Ä¤ÔÚ¹¤¼þÅ̵ĺñ¶ÈÂþÑܱ¬·¢±ä¸ï£¬´Ó¶øµ¹ÔËÓÚ¾«È·¿ØÖƱ¡Ä¤ºñ¶ÈµÄÂþÑÜ¡£
£¨2£©ºã¾ÃʹÓúó£¬Ä¤ÁϺÜÈÝÒ×±»´ò´©£¬Ta2O5ĤÁÏËæ×Å×Ô¼ºÕô¶Æʱ¼ä»ò´ÎÊýÔö¶à£¬¿é×´µÄĤÁϵײ¿»áÖð½¥ÓëÛáÛöÊèÉ¢£¬ÔÙ¼ÓÉÏ“ÍڿӔЧӦ£¬ºÜÈÝÒ×·ºÆðÔÚÕô¶ÆÀú³ÌÖб»´ò´©µÄÏÖÏó£¬ÓÈÆäÊÇÕô¶Æºñ²ãµÄʱºò¡£Í¼4¸ø³öÁËÕâÖÖÑݱäÀú³Ì¡£
ͼ4 Ä¤Áϱ»´ò´©µÄÑݱäÀú³Ì
ͼ4×ó²àΪ¸ÕÈÚºÃʹÓò»¾ÃµÄÛáÛö¼°Ä¤ÁÏ¡£Í¼ÖÐÍ­ÛáÛöÄÚ¾¶Îª36mm£¬Éî¶ÈΪ12mm¡£´ËʱĤÁÏÓëÛáÛöµ×²¿½áºÏÁ¼ºÃ£»¿¼Âǵ½Õô¶Æʱ£¬Ä¤ÁÏÍâòÒ×ÍÚ¿Ó£¬Îª°ü¹ÜÖƱ¸µÄ¾«¶È£¬Í¨³£µ¥´Î×î´óÕô¶ÆĤºñ²»Áè¼Ý280nm¡£
Ëæ×ÅʹÓÃʱ¼äµÄÔö¼Ó£¬¿é²ÄÖÜΧµÄÁÑÎÆÔ½À´Ô½¶à£¬ÁÑ·ìÔ½À´Ô½´ó£¬¿éÁÏÓëÛáÛöµ×²¿Ö®¼äµÄ¿Õ϶ԽÀ´Ô½´ó£¬ÈçͼÖÐÖÐÀ¸Ëùʾ¡£ÓÕ·¢´ò´©µÄµ¥´ÎÕô¶Æºñ¶ÈÒ²Ô½À´Ô½±¡£¬×îÖÕÇé¿öÈçÓÒÀ¸Ëùʾ¡£´ËÖÖÇé¿ö϶ÆĤ£¬²»µ«»áÔö¼ÓĤºñ¾«È·¿ØÖƵÄÄѶÈ£¬²¢ÇÒ¼Ó´óÁ˵ã×ÓÔÚ±¡Ä¤ÖзºÆðµÄ¸ÅÂÊ¡£
£¨3£©Ò©²ÄÒ×Å罦
Ta2O5Ò©²ÄÔÚÕô¶ÆÇ°±ØÐëÔ¤ÈÚ£¬µ«Ô¤ÈÚºóµÄÒ©²ÄÍâò¾­³£·ºÆðÈâÑۿɼûµÄС¿×¶´¡£Èç¹û²»±Ø³ýÕâЩС¿×£¬ÔÚÕô¶ÆµÄʱºò£¬ÕâÖֿ׶´ºÜÈÝÒ×Òý·¢Å罦¡£
ͼ5 Ta2O5ÛáÛöµÄÒ©²ÄÍâòͨ³£»áÓÐС¿×
£¨Èý£©ÈªÔ´£ºÌÕ´ÉÁÏÔÚÕô·¢Àú³ÌÖÐÅãͬÏà±äºÍÈÈÅòÕ͸÷ÏîÒìÐÔ
Ta2O5ÔÚÕô·¢Àú³ÌÖеÄÕâÖÖ×÷¹ÖÌØÐÔ£¬ÓëĤÁÏ×Ô¼ºµÄÁ½¸öÌØÐÔÓйØ¡£
£¨1£©Ta2O5ĤÁÏÔÚÕô·¢Àú³ÌÖÐÓÐÏà±ä
ͨÀýµÄ¸ß´¿Ta2O5ĤÁϵÄʵÖÊÊÇÌÕ´É¡£Ta2O5ÌÕ´ÉÔÚ1360¡æʱ»áÓɵÍÎÂб·½Ïࣨβ-Ta2O5£©£¬Ïò¸ßÎÂËÄ·½Ïࣨα- Ta2O5£©×ª±ä¡£Ïà±äÀú³Ì»áÅãͬ7%×óÓÒµÄÌå»ýÅòÕÍЧӦ¡£
ͼ6Ϊ¸ß´¿Ìմɾ­¹ý1400¡æºæ¿¾ºóµÄFESEMÏÔ΢ÕÕƬ£¬Ñؾ§½ç·ºÆðÁËÇåÎú¿É¼ûµÄÁÑÎÆ¡£
ͼ6 ¸ß´¿Ta2O5ÌÕ´ÉÑؾ§½ç·ºÆðµÄÁÑÎÆ
ÕâÖÖÏà±äÊÇ¿ÉÄæµÄ¡£ÕâÒâζ×ÅÕô·¢ºÍÀäÈ´Àú³ÌÖж¼»áÓÐÏà±ä£»Ò©²ÄÄÚ²¿²»¿ÉÖÆÖ¹µÄ»á·ºÆ𩶴¡£
£¨2£©Ta2O5ĤÁÏÈÈÅòÕ͸÷ÏîÒìÐÔ
Ta2O5ĤÁÏÈÈÕÇϵÊýºÜС£¬Ô¼-3ppm/¡æÁ¿¼¶¡£µ«È´±£´æן÷ÏòÒìÐÔ¡£
ÓÉÓÚÒÔÉÏÁ½ÖÖЧӦ£¬ÔÚ¶ÆĤÀú³ÌÖУ¬¾ÓÓÚÛáÛöÉϲ¿µÄÕô·¢ÇøÓò£¬»áÒòΪ¸ßηºÆðÌå»ýÅòÕͺÍÁÑÎÆ£¬Ê¹µÃÒ©²Äµ×²¿Öð²½Ô¶ÀëÛáÛö£¬ÔÚÛáÛöµ×²¿»ò²à±ßÐγɿյµ£¬´Ó¶øΪµç×ÓÊø»÷´©Ò©²ÄÂñÏ·ü±Ê¡£
£¨ËÄ£©½â¾ö¼Æ»®£º¸ÄÉÆÏÖÓÐĤÁϵÄÉÕÖƹ¤ÒÕ
ËäÈ»Êʵ±µÄµç×ÓÊø¹¤Òռƻ®¿ÉÒÔÔÚÒ»¶¨Ë®Æ½ÉϸÄÉÆÕô·¢ÌØÐÔ£¬µ«Ïë½øÒ»²½¿ØÖÆTa2O5Ò©²ÄÕô·¢Àú³ÌÖÐÌåÏÖ³öÀ´µÄ»µÌØÐÔ£¬ÒÀÈ»Ðë´ÓÒ©²Ä×Ô¼ºÈëÊÖ¡£
´ÓÀíÂÛÉϽ²£¬Í¨¹ý²ôÔÓ¿ÉÒÔÔÚÒ»¶¨Ë®Æ½ÉÏÒÖÖÆÏà±ä¡£ºÃ±ÈÎÄÏ×ÖÐÌáµ½µÄ²ôÈëÒ»¶¨±ÈÀýµÄZrO2¡£Í¼7µÄFESEMÏÔ΢ͼ¸ø³öÁ˲ôÔÓµÄЧ¹û¡£Ïà±Èͼ6Öеĸߴ¿ÌÕ´É£¬²ôÔÓºó£¬ÖÊÁϾ§Á£±äС£¬½á¹¹¾ùÔÈÖÂÃÜ£¬½çÏÞҲûÓзºÆðÃ÷ÏÔÁÑÎÆ¡£¾­¹ý²âÊÔ£¬ÈÈÕÏϵÊýÒ²Ö»ÓÐÇá΢±ä¸ï¡£
ÕâһʵÑ飬Ϊ¸ÄÉÆTa2O5ĤÁÏÌṩÁËÀíÂÛÖ¸µ¼¡£
ͼ7 ²ôÔÓZrO2µÄTa2O5µÄFESEMÏÔ΢ͼ
£¨Î壩С½á
Ta2O5ĤÁϵÄʵÖÊÊÇÌÕ´ÉÖÊÁÏ¡£Õô·¢¶ÆĤʱ£¬ÛáÛöÄÚµÄĤÁϻᾭÀú¿ÉÄæ±äµÄÏà±ä¡£Åãͬ×ÅÌå»ýµÄÅòÕͺÍÊÕËõЧӦ¡£Òò´Ë£¬Í¨Àý¸ß´¿Ta2O5ĤÁϺã¾ÃʹÓúóÈÝÒ×±»µç×ÓÊø´ò´©¡£
²ôÔÓºÏÊʵÄÎïÖÊ£¬¿ÉÒÔÔÚÒ»¶¨Ë®Æ½ÉÏÒÖÖÆTa2O5ÌÕ´ÉÓÉÓڽᾧµ¼ÖµÄÏà±ä¡£¿ÉÒÔ´ÓÀíÂÛÉϸÄÉÆĤÁϺã¾ÃʹÓúóÒ×±»´ò´©µÄÏÖÏó¡£
                                                                                                 
                                                                                                  лл×ðÁú¿­Ê±¶àλ¹¤³Ìʦ¼ÓÈëÌÖÂÛ¡£×ªÔØÐè±êÃ÷À´ÓÉ£¬Ð»Ð»£¡
 
                                                                                                  ¼¼ÊõÌÖÂÛÁªÏµ·½·¨£ºbaogh@hotmail.com   sale@jubose.com
 
		                                                              
 
 
 

ÍøÕ¾µØͼÍøÕ¾µØͼ
ÓÑÇéÁ´½Ó£ºGA»Æ½ð¼×  c7c7ÓéÀÖ  ÀÖ»¢¹ú¼Êlehu  pgµç×Ó  »·ÑǼ¯ÍÅ  ×ðÁú¿­Ê±  ×ðÁú¿­Ê±  ×ðÁú¿­Ê±  Ôƶ¥¼¯ÍÅ  pgµç×Ó  ×ðÁú¿­Ê±  BC´û